小編李德馨給您詳細(xì)的介紹——超純水設(shè)備可以祛除水中的哪些雜質(zhì),希望對(duì)廣大用戶(hù)朋友有所幫助。
北京中天恒遠(yuǎn)環(huán)保設(shè)備有限公司生產(chǎn)的反滲透設(shè)備有以下特點(diǎn):
1,廠家直銷(xiāo),價(jià)格實(shí)惠;2,專(zhuān)業(yè)定制,質(zhì)量保障;3,設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),制定專(zhuān)業(yè)的方案;4,售前售后服務(wù)到位,買(mǎi)的放心,用的舒心
一,溶解的無(wú)機(jī)鹽
有鈉、鈣、鎂等鹽類(lèi),溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí),會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面,造成短路。過(guò)去除去水中無(wú)機(jī)鹽是將水蒸餾,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐—厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl。較近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹(shù)脂。陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分別使用,易于再生,混合床離子交換樹(shù)脂用在離子交換的終級(jí),起把關(guān)的作用。這樣出來(lái)的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度)。
二,溶解的有機(jī)物
有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹(shù)脂之前,因活性炭本身會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)。必須注意,進(jìn)入樹(shù)脂床的水要先除去有機(jī)物,因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物,分子量小于300的有機(jī)物可除去90%。
三,粒子物質(zhì)
很多地方都容易產(chǎn)生,如炭床、樹(shù)脂床、深層過(guò)濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率,但沒(méi)有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì),只有用膜濾,一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透也能除去小粒子。
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