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超純水中有機(jī)物含量由測(cè)定有機(jī)物碳含量而定，電子工業(yè)超純水設(shè)備中規(guī)定含量為50～200微克／升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個(gè)，微生物每1毫升為0～10個(gè)�，F(xiàn)代采用預(yù)處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過(guò)濾技術(shù)等，使超純水的電阻率在25℃時(shí)達(dá)到18(兆歐·厘米)。
依各種原水水質(zhì)和用戶要求的不同，超純水的制備工藝大體可分為預(yù)超純水處理、脫鹽和精處理三步。
預(yù)處理 包括砂濾、多介質(zhì)過(guò)濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過(guò)濾、脫氣等。過(guò)濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌�；钚蕴歼^(guò)濾器是除去有機(jī)物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。
脫鹽 包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場(chǎng)作用下利用陽(yáng)離子和陰離子交換膜對(duì)離子選擇性透過(guò)，脫鹽率可達(dá)95％以上。反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過(guò)程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過(guò)半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達(dá)98％，并能除去99％的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。離子交換的原理是當(dāng)水通過(guò)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂時(shí)，水中的陽(yáng)離子被陽(yáng)離子交換樹(shù)脂吸附，樹(shù)脂上可交換的陽(yáng)離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結(jié)合成相應(yīng)的無(wú)機(jī)酸，如超純水。
這種含有無(wú)機(jī)酸的水，當(dāng)下一步通過(guò)陰離子交換樹(shù)脂層時(shí)，水中的陰離子被陰離子交換樹(shù)脂吸附。樹(shù)脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結(jié)合成水，即超純水
精處理 包括紫外線殺菌、終端膜過(guò)濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結(jié)構(gòu),破壞核酸功能而使細(xì)菌死亡。殺菌比較強(qiáng)的光譜波長(zhǎng)為2600埃。各種膜過(guò)濾能除掉直徑大于 0.2微米的顆粒，但對(duì)于清除有機(jī)物則不如反滲透和超濾有效。
超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過(guò)程中，水在壓力下流過(guò)一個(gè)卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個(gè)中孔的纖維棒內(nèi)壁上，超濾能除去細(xì)菌和0.05微米的粒子。
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